详细说明
上银HIWIN-晶圆机器人-E系列
WAFER ROBOT-E Series
HIWIN晶圆机器人助您实现生产全自动化
HIWIN晶圆机器手臂中的各关键零组件，如滚珠丝杠、直驱电机等，皆由HIWIN自行研发制造，软硬件垂直整合，可提供高品质的机器手臂，提升您的竞争力，且可依客户生产需求提供客制化服务。
单臂机器人（适用于2-12寸）
双臂机器人（适用于2-12寸）
关键部件自制
机器手臂中的各关键部件，如滚珠丝杠、直驱电机等，皆由HIWIN自行研发制造，软硬件垂直整合，可提供高品
质的机器手臂，提升您的竞争力，且可依客户生产需求提供客制化服务。
关键部件自制
机器手臂中的各关键部件，如滚珠丝杠、直驱电机、直线导轨、伺服电机等，皆由HIWIN自行研发制造，软硬件垂直整合，可提供高品质的机器手臂，提升您的竞争力，且可依客户生产需求提供客制化服务。
适用于
半导体产业：晶圆传送、晶圆翻转传送、铁框(Frame]传送
LED产业：蓝宝石基板传送、、胶环[Grip Ring]传送
面板产业(小型面板4000m以0下
面板产业(小型面板400*400m以下）：面板传送
选配：
一：牙叉IFork]|依客户需求不同可选配对应款式]
真空吸取、边缘夹持、FC夹取式
二：扫片感测器(Mapping Sensor]
RW系列手臂支援扫片功能，选配扫片感测器(Mapping Sensor]即可让手臂在进行
取放片前侦测晶舟盒内部的晶圆或基板是否有迭片、斜片的状态，提供使用者相
关数据进行手臂取放动作。
RW系列手臂支援扫片功能，选配扫片感测器(Mapping Sensor]即可让手臂在进行取放片前侦测晶舟盒内部的晶圆或基板是否有迭片、斜片的状态，提供使用者相关数据进行手臂取放动作。
三：教导器
●体积小，方便携带及操作，使用者可教导站点，测试手臂各站点取放动作。
●图式化功能键，操作简单。
●附有安全开关，可避免使用者因误触功能键造成手臂作动。
●体积小，方便携带及操作，使用者可教导站点，测试手臂各站点取放动作。
●图式化功能键，操作简单。
●附有安全开关，可避免使用者因误触功能键造成手臂作动。
四：末端效应器
●真空吸取型:以真空负压吸取晶圆、基板进行移载。
●夹持型:夹持晶圆、基板边缘进行移载。
●翻转型:以真空负压吸取晶圆、基板进行移载，可依使用者需求
让晶圆、基板正反面翻转。
●真空吸取型：以真空负压吸取晶圆、基板进行移载。
●夹持型：夹持晶圆、基板边缘进行移载。
●翻转型：以真空负压吸取晶圆、基板进行移载，可依使用者需求让晶圆、基板正反面翻转。
单臂机器人（适用于2-12寸）
RWSE-T单臂顶部固定
RWSE-B单臂底部固定
双臂机器人（适用于2-12寸）
RWDE-T双臂顶部固定
RWDE-B双臂底部固定
WAFER ROBOT-E SerieWAFER ROBOT-E Serie
吴女士 13527953137
上一篇：没有了
下一篇：没有了
